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碳化硅晶舟核心功能是在高溫、腐蝕性環(huán)境中穩(wěn)定承載硅片、晶圓或其他基板，廣泛應用于化學氣相沉積（CVD）、擴散、退火等工藝。
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更新時間：2025-04-20
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湖北武漢陽邏經(jīng)濟開發(fā)區(qū)
