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高純碳化硅粉料
高純碳化硅粉料
高純碳化硅粉料主要應(yīng)用于對(duì)碳化硅純度有高要求的領(lǐng)域,如半導(dǎo)體、光伏、特種陶瓷等。
產(chǎn)品分類
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
產(chǎn)品介紹:
高純碳化硅粉料作為現(xiàn)代制造的戰(zhàn)略性基礎(chǔ)材料,其純度、粒徑及形貌的精準(zhǔn)調(diào)控是推動(dòng)半導(dǎo)體、新能源及國(guó)防科技發(fā)展的關(guān)鍵。本公司生產(chǎn)的超純碳化硅粉體材料主要針對(duì)半導(dǎo)體及光伏領(lǐng)域的碳化硅結(jié)構(gòu)件、第三代半導(dǎo)體碳化硅單晶的生長(zhǎng)需求,粒徑可實(shí)現(xiàn)百微米到毫米級(jí)精準(zhǔn)控制,產(chǎn)品純度>99.9990%,可達(dá)5N、6N級(jí)別,其中半絕緣型產(chǎn)品氮含量低于 0.5ppm,導(dǎo)電型產(chǎn)品氮含量可根據(jù)需求選擇不同含量區(qū)間。主要應(yīng)用于對(duì)碳化硅純度有高要求的領(lǐng)域,如半導(dǎo)體、光伏、特種陶瓷等。
高純碳化硅粉料性能特點(diǎn):
1. 超高純度與低雜質(zhì)
金屬雜質(zhì)控制:電子級(jí)粉料中Fe、Al、Ni等金屬雜質(zhì)<1ppm(SEMI標(biāo)準(zhǔn)),保障半導(dǎo)體器件電學(xué)性能;
氧含量低:氧含量<0.5wt%,避免高溫?zé)Y(jié)中生成SiO?影響致密性。
2. 優(yōu)異熱學(xué)與化學(xué)穩(wěn)定性
高溫惰性:耐溫>2000℃,抗氧化性優(yōu)于石墨;
耐腐蝕性:耐受強(qiáng)酸(HF除外)、強(qiáng)堿及熔融金屬侵蝕。
3. 功能可調(diào)性
電學(xué)性能調(diào)控:通過(guò)摻雜(如Al、N)實(shí)現(xiàn)n型/p型半導(dǎo)體特性,電阻率范圍10?2~10?Ω·cm;
表面改性:包覆SiO?或Al?O?涂層,提升粉體分散性與燒結(jié)活性。
典型應(yīng)用場(chǎng)景:
1. 半導(dǎo)體與第三代半導(dǎo)體
碳化硅單晶生長(zhǎng):作為籽晶或原料粉,用于生長(zhǎng)SiC襯底(純度>99.9995%);
外延片制造:CVD法沉積SiC外延層,適配新能源汽車、5G基站的高壓功率器件。
2. 先進(jìn)陶瓷與復(fù)合材料
燒結(jié)碳化硅陶瓷:用于光伏晶舟、懸臂槳、噴嘴等高溫部件,抗彎強(qiáng)度>2500MPa;
金屬基復(fù)合材料:添加納米SiC粉(5~10vol%),提升鋁合金/鈦合金的耐磨性與剛度。
3. 新能源與儲(chǔ)能領(lǐng)域
鋰電池負(fù)極涂層:納米SiC粉體涂覆石墨負(fù)極,提升倍率性能與循環(huán)壽命(>2000次);
核反應(yīng)堆材料:作為中子吸收劑(與B?C復(fù)合),用于控制棒及屏蔽結(jié)構(gòu)。
4. 精密涂層與功能材料
耐磨涂層:等離子噴涂納米SiC涂層,硬度>3000HV,用于航空發(fā)動(dòng)機(jī)葉片;
吸波材料:與樹脂復(fù)合制成隱身材料,雷達(dá)波吸收率>90%(8~18GHz頻段)。
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